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產(chǎn)品名稱: Trek 646
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: Trek / Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
軟件驅(qū)動(dòng)靜電夾頭電源，輸出電壓范圍為0至±3 kV
Trek 646
的詳細(xì)介紹
Trek 646描述
Trek® 646 軟件驅(qū)動(dòng)的靜電夾頭電源提供了多種功能，能夠滿足各種要求高的應(yīng)用需求。該儀器采用先進(jìn)能源技術(shù)，其效率和吞吐量均為其他電源的三倍。Trek 646 多功能且值得信賴的性能允許在多種獨(dú)特工具和工藝中使用，無(wú)需為設(shè)施內(nèi)的每種獨(dú)特工具或工藝指定新供應(yīng)。
Trek 646特色
? 可鎖定前面板控制界面
? 每臺(tái)設(shè)備均附帶NIST可追溯校準(zhǔn)證書(shū)
? 支持庫(kù)侖和約翰森-拉貝克電阻技術(shù)
? 上傳并存儲(chǔ)靜電夾頭配置文件到設(shè)備，并通過(guò)用戶友好的軟件界面內(nèi)部存儲(chǔ)
? 晶圓檢測(cè)包括無(wú)晶圓、晶圓存在或晶圓夾持狀態(tài)
Trek 646優(yōu)點(diǎn)
? 減少背面氣體錯(cuò)誤，提高通量，消除硅片粘性/爆裂問(wèn)題
? 控制參數(shù)，如過(guò)電流、晶圓存在和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓以及內(nèi)部或外部幅度/偏移控制
? 調(diào)整過(guò)程中的振幅/偏移及輸出控制靈活性
? 通過(guò)后面板I/O、串行計(jì)算機(jī)命令或前面板控制控制輸出
? 配置自定義鉗制和減鐵燈序列及波形
Associated Part Numbers
